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MFM200系列气体质量流量计



规格: MFM200
单位:
浏览次数: 1686
性能标签: MFM200系列,气体质量流量计,最大流量20000sccm,最大压力500PSI



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MFM200系列气体质量流量计
 
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产品详细

 

MFM 系列热式质量流量计和MFC 系列热式质量流量控制器为多功能产品,该产品的设计易于使用,方便进行流量检测与控制。本类产品标准最大工作压力为500psig,标准标定时采用空气、氦气、氢气、二氧化碳,其他气体标定可按要求进行。


所有流量计和控制器均由316L不锈钢棒料制造,可用流量范围从0-10sccm到0-20lpm,其精度可高达±1%满刻度。并且每台仪器都可提供可追溯的NIST标定证书。电路设计可以抗高射频干扰,且响应速度很快,从而确保性能可靠和精度。

特点


• 全量程±1%精度
• 经过验证的可靠性
• 量程–20,000 sccm
• NIST 可追溯校准

应用


• 泄漏测试
• 医疗研究
• 气象淀积
• 研发和工艺流程
• 半导体制程
• 污染检测
• 气体混合
• 色谱分析

技术指标

MFM 200
精确度1 和线性度 ±1% 量程
重复精度 ±0.05% 量程
标准额定压力 500 psig
压力系数 典型-0.0067%/psi (0-1000 psig N2 )
整体泄漏率 <1x10-9 sccs
温度系数 3 ±0.035% 量程/°C (0-60°C)
  量程 ±0.05%读数/°C (0-60°C)
标准温度和压力 0°C760
电源 ±15 VDC @ ±25 mA
流量信号 (本征线性) 0-5VDC
接触介质的材料 316 SS, Viton®, 82/18 Au/Ni 钎焊,
微量银焊接
连接器 15针微型 D
接头 1/4" 1/8" 卡套
重量  
1.8 lb (0.82 kg)

选型表

MFM-200订货号    流量范围   1/4"卡套   1/8"卡套
MFM-200-2-10  0-10 SCCM          ⊙
MFM-200-2-100  0-100 SCCM         
MFM-200-2-500  0-500 SCCM         
MFM-200-2-1000  0-1000 SCCM         
MFM-200-4-3L  0-3 SLM         
MFM-200-4-5L  0-5 SLM         
MFM-200-4-10L  0-10 SLM         
MFM-200-4-20L  0-20 SLM         

   
上个产品:PYROVIEW 380系列 , 红外热成像仪
下个产品:MFC202系列,气体质量流量控制器
 
产品资料说明本网站资料大多是准确的,最新产品资料以产品说明书和操作手册为准。产品图片可能与实际有差别,请以实物为准。
 
 
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