MFC202系列,气体质量流量控制器

规格：MFC202

单位：套

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性能标签：

MFC202系列,气体质量流量控制器,最大流量20000sccm,最大压力500PSI

产品详细描述

MFC 系列热式质量流量控制器为多功能产品，该产品的设计易于使用，方便进行流量检测与控制。本类产品标准最大工作压力为500psig，标准标定时采用空气、氦气、氢气、二氧化碳，其他气体标定可按要求进行。
所有流量计和控制器均由316L不锈钢棒料制造，可用流量范围从0-10sccm到0-20lpm，其精度可高达±1%满刻度。并且每台仪器都可提供可追溯的NIST标定证书。电路设计可以抗高射频干扰，且响应速度很快，从而确保性能可靠和精度。

特点

• 全量程±1%精度
• 经过验证的可靠性
• 量程–20,000 sccm
• NIST 可追溯校准

应用

• 泄漏测试
• 医疗研究
• 气象淀积
• 研发和工艺流程
• 半导体制程
• 污染检测
• 气体混合
• 色谱分析

技术指标

MFC202
精确度和线性度	±1% 量程
重复精度	±0.05% 量程
标准额定压力	500 psig
压力系数	典型-0.0067%/psi (0-1000 psig N2 )
控制阀压降*	15-65 psig
整体泄漏率	<1x10-9 sccs
温度系数 3	零 ±0.035% 量程/°C (0-60°C)
	量程 ±0.05%读数/°C (0-60°C)
标准温度和压力	0°C和760托
电源	±15 VDC @ ±60 mA/-185 mA
流量信号	(本征线性) 0-5VDC
控制信号	0-500 VDC or 4-20 mA
接触介质的材料	316不锈钢, 302不锈钢, 镍, Viton®, 82/18 Au/Ni钎焊, 微量银焊接, Kalrez®
连接器	15针微型 D
接头	1/4" 和 1/8" 卡套
重量

1.8 lb (0.82 kg)

选型表

MFC-202订货号	流量范围	1/4"卡套	1/8"卡套
MFC-202-2-10	0-10 SCCM		⊙
MFC-202-2-100	0-100 SCCM		⊙
MFC-202-2-500	0-500 SCCM		⊙
MFC-202-2-1000	0-1000 SCCM		⊙
MFC-202-4-3L	0-3 SLM	⊙
MFC-202-4-5L	0-5 SLM	⊙
MFC-202-4-10L	0-10 SLM	⊙
MFC-202-4-20L	0-20 SLM	⊙

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