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MFC202系列,气体质量流量控制器

规格:MFC202

单位:

浏览次数:1505

性能标签:

MFC202系列,气体质量流量控制器,最大流量20000sccm,最大压力500PSI


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产品详细描述


MFC 系列热式质量流量控制器为多功能产品,该产品的设计易于使用,方便进行流量检测与控制。本类产品标准最大工作压力为500psig,标准标定时采用空气、氦气、氢气、二氧化碳,其他气体标定可按要求进行。
所有流量计和控制器均由316L不锈钢棒料制造,可用流量范围从0-10sccm到0-20lpm,其精度可高达±1%满刻度。并且每台仪器都可提供可追溯的NIST标定证书。电路设计可以抗高射频干扰,且响应速度很快,从而确保性能可靠和精度。

特点


• 全量程±1%精度
• 经过验证的可靠性
• 量程–20,000 sccm
• NIST 可追溯校准

应用


• 泄漏测试
• 医疗研究
• 气象淀积
• 研发和工艺流程
• 半导体制程
• 污染检测
• 气体混合
• 色谱分析

技术指标

MFC202
精确度和线性度 ±1% 量程
重复精度 ±0.05% 量程
标准额定压力 500 psig
压力系数 典型-0.0067%/psi (0-1000 psig N2 )
控制阀压降* 15-65 psig
整体泄漏率 <1x10-9 sccs
温度系数 3 ±0.035% 量程/°C (0-60°C)
  量程 ±0.05%读数/°C (0-60°C)
标准温度和压力 0°C760
电源 ±15 VDC @ ±60 mA/-185 mA
流量信号 (本征线性) 0-5VDC
控制信号 0-500 VDC or 4-20 mA
接触介质的材料 316不锈钢, 302不锈钢, , Viton®, 82/18
Au/Ni
钎焊, 微量银焊接, Kalrez®
连接器 15针微型 D
接头 1/4" 1/8" 卡套
重量  
1.8 lb (0.82 kg)

选型表

MFC-202订货号 流量范围 1/4"卡套 1/8"卡套
MFC-202-2-10  0-10 SCCM       ⊙
MFC-202-2-100  0-100 SCCM       ⊙
MFC-202-2-500  0-500 SCCM       ⊙
MFC-202-2-1000  0-1000 SCCM       ⊙
MFC-202-4-3L  0-3 SLM     ⊙  
MFC-202-4-5L  0-5 SLM     ⊙  
MFC-202-4-10L  0-10 SLM     ⊙  
MFC-202-4-20L  0-20 SLM     ⊙  



 本网站资料大多是准确的,最新产品资料以产品说明书和操作手册为准。产品图片可能与实际有差别,请以实物为准。


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